1. 檢查儀器后面板電壓量程是否置于10V檔，電流電阻量程是否置于104檔。

2. 接通電源調(diào)零，(注意此時主機(jī)不得與屏蔽箱線路連接)在“Rx"兩端開路的情況下，調(diào)零使電流表的顯示為0000。然后關(guān)機(jī)。

3. 將待測試樣平鋪在不保護(hù)電極正*，然后用保護(hù)電極壓住樣品，再插入被保護(hù)電極(不保護(hù)電極、保護(hù)電極、被保護(hù)電極應(yīng)同軸且確認(rèn)電極之間無短路)。

4. 測體積電阻時測試按鈕撥到Rv邊，測表面電阻時測試按鈕撥到Rs邊，

5. 接好測試線，將測試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好。量程置于104檔，打開主機(jī)后面板電源開關(guān)按鈕。從儀器后面板調(diào)電壓按鈕到所要求的測量電壓。

6. 電流電阻量程按鈕從低檔位逐漸撥，每撥一次停留1-2秒觀察顯示數(shù)字，當(dāng)被測電阻大于儀器測量量程時，電阻表顯示“1"，此時應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置。測量儀器有顯示值時應(yīng)停下，在1min的電化時間后測量電阻，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測電阻。

7. 測試完畢先將量程撥至(104)檔，然后將測量電壓撥至10V檔，后將測試按鈕撥到*位置后關(guān)閉電源。然后進(jìn)行下一次測試。